Inel de grafit acoperit cu carbon pirolitic
Inelele de grafit acoperite cu carbon pirolitic de la Semixlab sunt proiectate pentru medii de epitaxie semiconductoare la temperaturi ridicate, unde stabilitatea termică, controlul purității și consecvența procesului sunt esențiale. Proiectate cu un strat dens de carbon pirolitic pe substraturi de grafit de înaltă puritate, aceste componente oferă o rezistență chimică excelentă, o generare redusă de particule și o uniformitate termică superioară în timpul procesării napolitanelor. Contactați Semixlab astăzi pentru a explora soluții personalizate de grafit acoperit cu carbon pirolitic pentru aplicațiile dvs. de epitaxie semiconductoare.
Descriere
Inelul de grafit prezentat aici este utilizat în echipamentele de creștere a cristalelor de carbură de siliciu. Acesta este, în general, instalat în jurul zonei câmpului termic din interiorul cuptorului și funcționează împreună cu alte componente din grafit în timpul procesului de creștere a cristalelor.
Acest tip de inel este utilizat în mod obișnuit în sistemele de creștere PVT, unde temperatura cuptorului rămâne extrem de ridicată pentru perioade lungi de timp. Din cauza mediului de operare, utilizatorii înlocuiesc de obicei inelul după un anumit număr de cicluri, în loc să îl utilizeze permanent.
Materialul de bază este grafit prelucrat mecanic cu un strat superficial de PyC. Comparativ cu grafitul netratat, suprafața acoperită este mai stabilă în timpul funcționării la temperaturi ridicate și este mai puțin probabil să elibereze particule în interiorul camerei.
În producția practică, mulți clienți achiziționează aceste inele în mod repetat, ca parte a întreținerii de rutină a cuptorului și a planificării producției.
Caracteristici produs

Stratul de suprafață PyC
Un strat de carbon pirolitic este aplicat pe suprafața de grafit pentru a îmbunătăți stabilitatea în condiții de temperatură ridicată.
Pentru creșterea cristalelor de SiC
Utilizat în principal în cuptoarele de creștere a cristalelor de carbură de siliciu și în sistemele de câmp termic aferente.
Stare stabilă a suprafeței
Acoperirea ajută la menținerea unei suprafețe de lucru mai curate în timpul ciclurilor lungi de încălzire.
Producție repetată în loturi
Aceleași specificații pot fi furnizate în mod continuu pentru clienții care operează mai multe cuptoare.
Prelucrare conform desenelor
Dimensiunea și structura pot fi ajustate în funcție de diferitele modele de cuptor.
Producție și aprovizionare
Diferite structuri de cuptor necesită configurații diferite de grafit, așa că majoritatea inelelor sunt produse conform desenelor clienților sau mostrelor existente.
În timpul fabricației, dimensiunile și grosimea stratului de acoperire sunt verificate înainte de expediere. Pentru clienții care utilizează cantități mari în producție continuă, repetabilitatea stabilă între loturi este de obicei una dintre principalele preocupări.
Unii utilizatori comandă doar câteva bucăți pentru testare, în timp ce alții cumpără în mod regulat cantități mai mari pentru utilizare în producție pe termen lung.
Semixlab
Semixlab furnizează produse din grafit și grafit acoperit utilizate în industria semiconductorilor și a creșterii cristalelor. Produsele pot fi fabricate în funcție de cerințele aplicației, structura cuptorului și specificațiile clientului.
Specificații
Informaţii tehnice
| Parametrul de acoperire cu carbon pirolitic (PyC) | ||
| Articol | Unitate | valoare |
| Structură cristalină | Hexagonal | |
| Aliniere | Orientat sau neorientat de-a lungul direcției 001 | |
| Densitate în masă | g / cm3 | ~ 2.25 |
| Microstructură | Policristalin/Grafen multistrat | |
| Duritate | GPa | 1.2 |
| Modul elastic | GPa | 11 |
| Grosimea tipică | um | 30±5um |
| Densitatea de suprafață | um | 1.5 |
| Puritatea produsului | ppm | ≤5ppm |
Aplicatii
-Creșterea cristalelor de carbură de siliciu
-Sisteme de cuptoare PVT
-Ansambluri de grafit cu câmp termic
-Componente ale cuptorului pentru temperaturi înalte
-Piese consumabile din grafit
Serviciile noastre

Magazin de produse Semixlab


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




