toate categoriile
Acoperire cu grafit pirolitic (PG).

Acoperire cu grafit pirolitic (PG).

Acasă> Produse > Acoperire CVD > Acoperire cu grafit pirolitic (PG).

Inel de grafit acoperit cu carbon pirolitic
Inel de grafit acoperit cu carbon pirolitic

Inel de grafit acoperit cu carbon pirolitic


Inelele de grafit acoperite cu carbon pirolitic de la Semixlab sunt proiectate pentru medii de epitaxie semiconductoare la temperaturi ridicate, unde stabilitatea termică, controlul purității și consecvența procesului sunt esențiale. Proiectate cu un strat dens de carbon pirolitic pe substraturi de grafit de înaltă puritate, aceste componente oferă o rezistență chimică excelentă, o generare redusă de particule și o uniformitate termică superioară în timpul procesării napolitanelor. Contactați Semixlab astăzi pentru a explora soluții personalizate de grafit acoperit cu carbon pirolitic pentru aplicațiile dvs. de epitaxie semiconductoare.

Descriere

Inelul de grafit prezentat aici este utilizat în echipamentele de creștere a cristalelor de carbură de siliciu. Acesta este, în general, instalat în jurul zonei câmpului termic din interiorul cuptorului și funcționează împreună cu alte componente din grafit în timpul procesului de creștere a cristalelor.

Acest tip de inel este utilizat în mod obișnuit în sistemele de creștere PVT, unde temperatura cuptorului rămâne extrem de ridicată pentru perioade lungi de timp. Din cauza mediului de operare, utilizatorii înlocuiesc de obicei inelul după un anumit număr de cicluri, în loc să îl utilizeze permanent.

Materialul de bază este grafit prelucrat mecanic cu un strat superficial de PyC. Comparativ cu grafitul netratat, suprafața acoperită este mai stabilă în timpul funcționării la temperaturi ridicate și este mai puțin probabil să elibereze particule în interiorul camerei.

În producția practică, mulți clienți achiziționează aceste inele în mod repetat, ca parte a întreținerii de rutină a cuptorului și a planificării producției.

Caracteristici produs

Procesul de creștere a cristalelor de SiC

Stratul de suprafață PyC

Un strat de carbon pirolitic este aplicat pe suprafața de grafit pentru a îmbunătăți stabilitatea în condiții de temperatură ridicată.

Pentru creșterea cristalelor de SiC

Utilizat în principal în cuptoarele de creștere a cristalelor de carbură de siliciu și în sistemele de câmp termic aferente.

Stare stabilă a suprafeței

Acoperirea ajută la menținerea unei suprafețe de lucru mai curate în timpul ciclurilor lungi de încălzire.

Producție repetată în loturi

Aceleași specificații pot fi furnizate în mod continuu pentru clienții care operează mai multe cuptoare.

Prelucrare conform desenelor

Dimensiunea și structura pot fi ajustate în funcție de diferitele modele de cuptor.


Producție și aprovizionare

Diferite structuri de cuptor necesită configurații diferite de grafit, așa că majoritatea inelelor sunt produse conform desenelor clienților sau mostrelor existente.

În timpul fabricației, dimensiunile și grosimea stratului de acoperire sunt verificate înainte de expediere. Pentru clienții care utilizează cantități mari în producție continuă, repetabilitatea stabilă între loturi este de obicei una dintre principalele preocupări.

Unii utilizatori comandă doar câteva bucăți pentru testare, în timp ce alții cumpără în mod regulat cantități mai mari pentru utilizare în producție pe termen lung.

Semixlab

Semixlab furnizează produse din grafit și grafit acoperit utilizate în industria semiconductorilor și a creșterii cristalelor. Produsele pot fi fabricate în funcție de cerințele aplicației, structura cuptorului și specificațiile clientului.

Specificații

Informaţii tehnice

Parametrul de acoperire cu carbon pirolitic (PyC)
Articol Unitate valoare
Structură cristalină Hexagonal
Aliniere Orientat sau neorientat de-a lungul direcției 001
Densitate în masă g / cm3 ~ 2.25
Microstructură Policristalin/Grafen multistrat
Duritate GPa 1.2
Modul elastic GPa 11
Grosimea tipică um 30±5um
Densitatea de suprafață um 1.5
Puritatea produsului ppm ≤5ppm
Aplicatii

-Creșterea cristalelor de carbură de siliciu

-Sisteme de cuptoare PVT

-Ansambluri de grafit cu câmp termic

-Componente ale cuptorului pentru temperaturi înalte

-Piese consumabile din grafit

Serviciile noastre

Magazin de produse Semixlab

nedefinit

ANCHETĂ

Categorii fierbinți