Piese de cuarț

Cuarțul este încă omniprezent în procesarea semiconductorilor. Nu este nou, dar este fiabil, iar majoritatea fabricilor sunt familiarizați cu modul în care se comportă. Atâta timp cât puritatea este controlată, funcționează bine în etapele de difuzie, oxidare și curățare.

Multe piese din cuarț sunt utilizate în sistemele de cuptoare sau în uneltele PECVD. Principala așteptare este stabilitatea - nu neapărat o durată lungă de viață, ci o performanță previzibilă. Acest lucru este de obicei suficient de bun pentru multe procese standard.

Desigur, cuarțul are limitele sale. Se poate uza mai repede în anumite condiții, mai ales în comparație cu SiC. Dar, deoarece este relativ ușor de obținut și nu este prea scump, oamenii îl folosesc în continuare destul de mult.