EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Scut și obturator din cuarț opac de înaltă puritate pentru MOCVD
Componentele din cuarț opac de înaltă puritate sunt proiectate pentru procesele MOCVD cu semiconductori, inclusiv consumabile critice, cum ar fi scuturi termice și obturatoare de precizie. Utilizând un mecanism unic de împrăștiere a microbulelor interne, aceste componente convertesc radiația termică localizată în radiație de suprafață în infraroșu îndepărtat, extrem de uniformă, îmbunătățind semnificativ uniformitatea stratului epitaxial. Având o puritate ≥99.999% și un coeficient de dilatare termică extrem de scăzut, acestea oferă o protecție termică superioară la temperaturi de peste 1100 ℃, reducând în același timp consumul de energie și prevenind contaminarea metalică - ceea ce le face o soluție ideală și rentabilă pentru liniile de producție de volum mare.
Descriere
Microstructură: Structura densă cu microbule oferă performanțe superioare de împrăștiere termică.
Cuarț opac: „Bariera uniformă de temperatură” pentru procesele MOCVD
Cuarțul nostru opac topit de înaltă puritate este mult mai mult decât un material standard de cuarț. Este fabricat printr-un proces specializat de fuziune care introduce un volum mare de microbule uniforme, cu diametre controlate precis între 10-100µm. Aceste bule sunt nucleul performanței termice excepționale a materialului:
● Împrăștiere în infraroșu și conversie în infraroșu îndepărtat (FIR):
Radiația primară provenită de la elementele de încălzire MOCVD (cum ar fi filamentele de tungsten sau grafitul) constă în principal din lumină în infraroșu apropiat (NIR). Cuarțul transparent este aproape în întregime permeabil la NIR, ceea ce duce la o concentrare localizată a căldurii și la „puncte fierbinți” pe substrat. Bulele interne din cuarțul opac facilitează nenumărate reflexii interne și împrăștiere, blocând eficient penetrarea directă în NIR. Căldura este absorbită și reemisă sub formă de radiație de suprafață în infraroșu îndepărtat (FIR) mai uniformă. Această conversie asigură un câmp termic extrem de omogen în interiorul camerei MOCVD, ceea ce este esențial pentru obținerea unor straturi epitaxiale uniforme și de înaltă calitate.
● Puritate ultra-înaltă și conținut scăzut de hidroxil (OH):
Pentru procesele semiconductoare front-end, controlăm strict puritatea SiO2 la nivelul de 5N (99.999%) și menținem conținutul de hidroxil (OH) la < 5 ppm. Acest lucru asigură că în medii cu vid înalt care depășesc 1000℃, nu se eliberează ioni metalici nocivi sau umiditate, protejând integritatea structurilor sensibile ale sondelor cuantice.
| Element | Conținut tipic (ppm) | Metoda de detectare |
| Aluminiu (Al) | <15 | ICP-OES |
| Calciu (Ca) | <1.0 | ICP-OES |
| Fier | <0.5 | ICP-OES |
| Sodiu (Na) | <1.0 | ICP-OES |
| Hidroxil (OH) | <5 | F |
| Puritate totală | ≥ 99.999% | Calculat |
Aplicatii
Scenarii tipice de aplicare
Componentele noastre opace din cuarț nu sunt doar înlocuitori; sunt soluții optimizate pentru provocări specifice de procesare termică.
Scenariul A: Protecția camerei MOCVD pentru semiconductori compuși (GaN, SiC)
● Punct dificil: În timpul creșterii GaN sau SiC, temperaturile ridicate și fluxurile de precursori corozivi (cum ar fi amoniacul NH3 și TMGa) duc la depuneri masive de produse secundare pe pereții scumpi ai camerei și pe încălzitoarele din grafit. Acest lucru duce la perioade frecvente de nefuncționare pentru întreținerea preventivă (PM) și la creșterea costului de proprietate (CoO).
● Soluție: Utilizarea cuarțului opac de înaltă puritate ca scut termic (căptușeală a camerei) oferă un „strat sacrificial” rentabil. În timp ce colectează depunerile, izolația sa superioară protejează pereții camerei din oțel inoxidabil, prelungind ciclul PM cu peste 30%.
Scenariul B: Controlul interfeței în structuri cu sonde multi-cuantice (MQW)
● Punct dificil: Fabricarea structurilor MQW ultra-subțiri pentru LED-uri sau lasere necesită precizie la nivel atomic în comutarea gazului precursor. Orice deformare termică sau întârziere mecanică a obturatorului provoacă „lățirea interfeței”, degradând semnificativ performanța optoelectronică a dispozitivului.
● Soluție: Obloanele noastre de precizie din cuarț valorifică coeficientul extrem de scăzut de dilatare termică al cuarțului opac. Acest lucru asigură o planeitate perfectă și stabilitate structurală în timpul comutării de mare viteză și a ciclului termic rapid, permițând un adevărat „control al stratului atomic”.
