Barcă cu napolitană de cuarț cu semiconductor

Bărcile cu napolitană Semixlab Semiconductor Quartz sunt instrumente cheie cu rulmenți concepute pentru procese la temperaturi înalte, cum ar fi difuzia, oxidarea, CVD, recoacere etc., în fabricarea semiconductoarelor. Fabricat din cuarț sintetic de înaltă puritate, cu rezistență excelentă la temperaturi ridicate, stabilitate chimică și coeficient scăzut de dilatare termică, poate transporta stabil napolitane în medii dure de proces pentru a asigura consistența procesului și randamentul produsului.

Echipamente aplicabile: Compatibil cu toate tipurile de cuptor cu difuzie orizontală/verticală (cuptor cu difuzie orizontală/verticală), sistem LPCVD și echipamente de tratament termic rapid (RTP).

Asigurarea calității

Control strict al calității: detectarea scurgerilor prin spectrometrie de masă cu heliu 100% (rata de scurgere <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Raportul de puritate a materialului (test ICP-MS) este emis pentru fiecare lot.

Standarde de certificare: În conformitate cu specificațiile SEMI F47, prin certificarea sistemului de management al calității ISO 9001:2015.

Durată de viață: durata medie de viață în condiții normale este mai mare de 2 ani (în funcție de frecvența procesului și de condițiile de temperatură).

De ce să alegeți barca noastră de cuarț?

Servicii personalizate: Dimensiuni și construcție personalizate în funcție de modelul echipamentului (TEL, Kokusai, ASM, etc.) și cerințele procesului.

Răspuns rapid: Timpul standard de livrare este de 3 săptămâni, comenzile urgente pot fi reduse la 10 zile lucrătoare.

Rețea globală de service: Oferiți consiliere tehnică, îndrumări de instalare și asistență pentru întreținere post-vânzare. Specificații materiale.

Caietul de sarcini al proiectului

Sinteza materialului Fused Quartz

Puritate ≥99.99% SiO₂

Compatibilitate cu dimensiunea plachetei 8", 12" (poate fi personalizat 6" sau 18")

Temperatura de funcționare ≤1200°C (continuu) / 1300°C (vârf)

Coeficient de dilatare termică (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Rugozitatea suprafeței (Ra) ≤0.2μm

Capacitate standard 25/50/100 tablete

Gaze de proces aplicabile O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCI etc.

Oxidare/difuzie la temperatură ridicată: dopaj cu siliciu (fosfor, difuzie de bor), creșterea oxidului de poartă.

Depunere de peliculă subțire: siliciu policristalin LPCVD, depunere de nitrură de siliciu (Si₃N₄).

Proces de recoacere: recoacere dupa implantare ionica (RTA), aliaje metalice.

Semiconductor de a treia generație: proces de epitaxie cu carbură de siliciu (SiC), nitrură de galiu (GaN).

1. Caracteristicile materialelor

Cuarț de puritate ultra-înaltă (>99.99% SiO₂): evită poluarea cu ionii metalici (Na +, K +, Fe³ +, etc.) și îndeplinește cerințele de curățenie pentru procesele avansate (noduri <5nm).

Rezistență la temperatură ridicată: temperatură de funcționare continuă de 1200 ° C, rezistență la temperatură instantanee de 1300 ° C, fără risc de deformare sau cristalizare.

Inerție chimică: Rezistă la gaze de proces precum HCI, H₂, O₂, SiH₄ și medii acide/alcaline. Non-coroziv în utilizare pe termen lung.

2. Design de precizie

Optimizați structura:

Precizia distanței dintre fante este de ± 0.05 mm, asigurând o poziționare precisă a plachetelor (8/12 inch) și prevenind zgârieturile sau deplasarea.

Design rezistent la șocuri termice, se adaptează la creșterea și scăderea rapidă (viteză de încălzire ≤20°C/min).

Formare scăzută de particule: suprafața este lustruită cu ultra-precizie (Ra ≤0.2μm) pentru a reduce atașarea și căderea particulelor.

3. Configurație diversificată

Capacitate opțională: suportă 25 de bucăți, 50 de bucăți, 100 de bucăți și alte specificații standard, pot fi, de asemenea, personalizate numărul de slot non-standard.

Adaptare tip: Barcă deschisă, Barcă închisă sau tip special de ambarcațiune (cum ar fi designul canalului de deviere pe fundul bărcii).

Î1: Puteți oferi dimensiuni non-standard sau design special?

A1: Semixlab acceptă servicii personalizate, inclusiv ajustarea dimensiunii, limita superioară a temperaturii (este necesară actualizarea materialului) sau tipul de interfață. Vă rugăm să contactați echipa tehnică a Semixlab pentru cerințe specifice.

Î2: Cât este timpul de livrare?

A2: Timpul de livrare pentru produsele standard este de 4-6 săptămâni, iar timpul de proiectare și verificare pentru produsele personalizate este de 2-3 săptămâni.

Î3: Oferiți asistență tehnică post-vânzare?

A3: Da, oferim consultanță tehnică pe tot parcursul vieții și servicii de răspuns în caz de urgență. În cazul unor probleme de instalare sau utilizare, echipa de asistență poate fi contactată în orice moment prin e-mail sau telefon.

Î4: Produsul îndeplinește standardele din industria semiconductoarelor?

A4: Da, procesul de producție respectă standardele SEMI și este certificat de sistemul de management al calității ISO 9001. Fiecare lot este testat pentru etanșeitatea la aer, rezistența la temperatură și puritatea înainte de a părăsi fabrica.