Navă cu napolitane SiC de înaltă puritate

Soluții optimizate de câmp termic pentru fabricație de 4-12 inci

De ce trec producătorii de top de la ambarcațiunile din cuarț la cele din SiC?

Superioare cuarțului, care inevitabil cedează la 1150°C din cauza devitrificării, barcile noastre SiC mențin o precizie geometrică absolută în condiții de stres termic extrem. Datorită densității sale mari, matricea SiC CVD oprește împrăștierea particulelor. Este construită special pentru a face față cerințelor de „excursie zero” ale proceselor actuale de fabricație submicronică.

Componentele noastre fac față curățării agresive cu HF/HNO3 mult mai bine decât cuarțul, având o durată mai lungă de viață și reducând costurile de înlocuire. Cu un management termic optimizat pentru o încălzire rapidă și uniformă, acestea oferă stabilitatea procesului necesară pentru napolitane de 4 inch până la 12 inch în producția de volum mare.

Perspective ale experților

Spre deosebire de barcile tradiționale din grafit care se bazează în mare măsură pe acoperiri superficiale, arhitectura monolitică SiC-pe-SiC a Semixlab elimină „nepotrivirea” structurală dintre substrat și înveliș. Prin unificarea coeficienților de dilatare pe întreaga unitate, am rezolvat problema cronică a delaminării din industrie. Pentru fabricile de volum mare de 8 și 12 inci, aceasta nu este doar o îmbunătățire a materialului - este o revoluție a costului total de proprietate (TCO). Cu o durată de viață de 5 ori mai mare decât cea a cuarțului standard, barcile noastre solide din SiC transformă un cost consumabil într-un activ de producție pe termen lung.

Specificații tehnice și personalizare

Putem adapta totul pentru a se potrivi configurației specifice a cuptorului dumneavoastră - fie orizontal, fie vertical - și ne putem adapta nevoilor dumneavoastră exacte de manipulare a napolitanelor.

Aplicații tipice 

Navele noastre SiC sunt construite pentru cele mai dificile condiții de fabricație. Își mențin perfect forma în timpul epitaxiei Si/SiC, în ciuda gravării cu H2, iar puritatea lor ridicată este o salvare pentru procesele de difuzie unde contaminarea reprezintă un risc. Pentru ALD și LPCVD, acestea acționează ca o masă termică stabilă pentru a asigura depunerea uniformă a peliculei pe toate napolitanele.

Schema procesului CVD pentru acoperirea cu SiC pentru bărci, asigurând o puritate de 7N și o densitate uniformă

1) Puritate ultra-înaltă 7N (încapsulare CVD) În loc de un strat de acoperire de bază, folosim o încapsulare CVD SiC de înaltă densitate pentru a menține o puritate globală de 99.99999%. Pentru dispozitivele de alimentare de înaltă tensiune, cum ar fi IGBT-urile și MOSFET-urile, acest lucru nu este opțional - este singura modalitate de a împiedica impuritățile metalice (Fe, Ni, Cu) să declanșeze curenți de scurgere catastrofali.

2) Geometrie a fantelor proiectată cu precizie Nu avem soluții universale. Indiferent dacă aveți nevoie de o canelură standard în V sau de o canelură specializată în U pentru manipularea de napolitane fragile și subțiri, centrele noastre CNC mențin toleranțe strânse de ±0.05 mm. Această precizie extremă elimină vibrațiile napolitane la sursă și atenuează stresul de pe margine în timpul transferurilor robotizate de mare viteză.

3) Ciclul de funcționare optimizat și coeficientul de dilatare termică (CTE) Cel mai mare punct de defecțiune la ambarcațiunile acoperite este delaminarea. Am rezolvat acest lucru prin reglarea rezistenței de lipire a acoperirii pentru a reflecta perfect coeficientul de dilatare termică (CTE) al substratului. Rezultatul? O ambarcațiune care supraviețuiește ciclului termic neîncetat din cuptoarele de oxidare și difuzie, fără ca acoperirea să se exfolieze sau să se desprindă de materialul de bază.