Acoperire cu carbură de siliciu CVD (SiC).

Acoperirea CVD cu SiC este practic un strat de carbură de siliciu depus pe grafit și este utilizată pe scară largă în uneltele de epitaxie unde contează atât temperatura, cât și curățenia. În liniile de producție reale, o veți vedea adesea în sisteme de la AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, precum și în unele platforme legate de AMAT. Ceea ce o face utilă nu este doar rezistența la temperatură, ci și stabilitatea generală pe durata ciclurilor lungi de producție. În condiții tipice de epitaxie - hidrogen, amoniac sau chiar gaze clorurate - acoperirea rămâne relativ stabilă și protejează grafitul de dedesubt. Acest lucru ajută la menținerea unui câmp termic mai constant și reduce șansa apariției particulelor în timpul creșterii.

De cele mai multe ori, acoperirea se aplică pe componente precum susceptori, purtători de napolitane, inele de grafit sau componente în formă de semilună. Toate acestea sunt implicate direct în încălzirea sau poziționarea napolitanelor, astfel încât orice mică instabilitate poate afecta randamentul. Din acest motiv, piesele acoperite sunt adesea tratate ca consumabile care trebuie să fie totuși fiabile pe parcursul mai multor cicluri, în special în producția de 4 până la 12 inci.