Susceptor epi cu LED acoperit cu TaC

Susceptorul epitaxial LED acoperit cu TaC adoptă tehnologia de acoperire cu carbură de tantal (TaC) de înaltă puritate, special concepută pentru echipamentele MOCVD (depunere chimică în fază de vapori metalo-organică) și potrivită pentru procesul de depunere la temperaturi înalte a napolitanelor epitaxiale LED. Produsul are o rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune și stabilitate termică, ceea ce poate reduce semnificativ poluarea și eliberarea particulelor și poate prelungi durata de viață. Este o alegere ideală pentru îmbunătățirea randamentului și a eficienței producției napolitanelor epitaxiale LED.

Aplicare:

Episusceptorul LED acoperit cu TaC este special conceput pentru echipamentele MOCVD și este utilizat în principal în producția de napolitane epitaxiale cu LED-uri, în special pentru creșterea epitaxială a LED-urilor albastre și ultraviolete pe bază de nitrură de galiu (GaN). De asemenea, poate satisface nevoile de fabricație ale dispozitivelor semiconductoare de putere SiC/GaN și este potrivit pentru experimente CVD, MBE și alte experimente de depunere de materiale la temperatură înaltă în institutele de cercetare științifică.

Servicii care pot fi furnizate:

Analiza scenariilor de aplicare a clientului, potrivirea materialelor, rezolvarea problemelor tehnice.

Profilul Companiei:

Semixlab are 2 laboratoare, o echipă de experți cu 20 de ani de experiență în materiale, cu capacități de cercetare și dezvoltare și producție, testare și verificare.

Parametri tehnici

Domenii principale de aplicare

Aviz de verificare a lanțului ecologic

Verificarea ecologică a lanțului de verificare a susceptorului epidermic cu LED-uri acoperite cu TaC de la Semixlab acoperă materiile prime până la producție, a trecut certificarea standardelor internaționale și are o serie de tehnologii brevetate pentru a asigura fiabilitatea și sustenabilitatea sa în domeniile semiconductorilor și al noilor energii.

Procesul tipic de aplicare

Pregătirea materiei prime (inspecția grafitului de înaltă puritate) → Fabricarea substratului (presare izostatică) → Procesul de acoperire TaC (depunere CVD) → Post-procesare (lustruire de precizie) → Inspecția calității → Ambalare și livrare

Pe măsură ce tehnologia LED se dezvoltă spre dimensiuni mai mici și precizie mai mare, cum ar fi Mini LED și Micro LED, cerințele de stabilitate și control al procesului pentru echipamentele MOCVD devin din ce în ce mai mari. Promovarea episusceptorului LED acoperit cu TaC nu numai că poate îmbunătăți eficiența producției de LED-uri existente, dar poate oferi și o bază de fabricație mai fiabilă pentru următoarea generație de tehnologie de afișare.

Pentru specificații tehnice detaliate, documente informative sau aranjamente pentru testarea eșantionului, vă rugăm să contactați echipa noastră de asistență tehnică pentru a explora modul în care Semixlab vă poate îmbunătăți eficiența procesului.

Avantajele miezului susceptor epidermoid cu LED acoperit cu TaC de la Semixlab

Rezistență la temperaturi extrem de ridicate

Susceptorii epitaxiali LED acoperiți cu TaC sunt fabricați din carbură de tantal de înaltă puritate, care poate funcționa stabil pentru o perioadă lungă de timp în medii cu temperaturi ridicate, peste 1200°C. Chiar și în condițiile extreme de temperatură ale procesului MOCVD, acoperirea nu se va crăpa sau exfolia, asigurând uniformitatea și consecvența procesului de creștere epitaxială și îmbunătățind eficient randamentul produsului.

Rezistență excelentă la coroziune

În timpul procesului de fabricație a plachetelor epitaxiale LED, susceptorul trebuie expus la medii cu gaze corozive, cum ar fi H2 și NH3, pentru o perioadă lungă de timp. Acoperirea TaC are o inerție chimică extrem de puternică și poate rezista eficient eroziunii gazelor și poate evita impuritățile generate de oxidare sau reacție, asigurând astfel puritatea și performanța optoelectronică a plachetei epitaxiale.

Deformare termică redusă

Coeficientul de dilatare termică al stratului de TaC este foarte apropiat de cel al substratului de grafit, iar susceptorul poate menține o rată de deformare termică extrem de scăzută chiar și în timpul creșterilor și scăderilor rapide de temperatură. Această caracteristică poate reduce considerabil riscul de deformare epitaxială a plachetei, poate asigura o creștere uniformă a stratului epitaxial și poate îmbunătăți consistența produsului.

Finisaj ridicat al suprafeței

Suprafața susceptorului este lustruită cu precizie, cu rugozitatea controlată sub 0.5 μm, reducând eficient rata defectelor în timpul creșterii epitaxiale. Suprafața netedă poate reduce, de asemenea, aderența dintre placheta epitaxială și susceptor, facilitând îndepărtarea plachetei și reducând riscul de rupere a acesteia.

Proiect de viață lungă

Comparativ cu susceptorii tradiționali din grafit, acoperirea TaC are o rezistență mai bună la uzură și la coroziune, iar durata sa de viață poate fi crescută de peste 3 ori. Acest lucru nu numai că reduce frecvența înlocuirii consumabilelor, dar reduce și fluctuațiile procesului cauzate de îmbătrânirea susceptorului, ceea ce poate reduce semnificativ costurile de producție pe termen lung.