Barcă SiC de înaltă puritate

Carcasa din carbură de siliciu (SiC) de înaltă puritate este un suport ceramic de înaltă performanță, conceput pentru procese semiconductoare la temperatură înaltă, creșterea cristalelor și tratament termic de precizie. Este sinterizată cu material SiC de puritate ultra-înaltă și are o rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la șocuri termice și stabilitate chimică. Este utilizată pe scară largă în difuzia semiconductorilor, CVD, epitaxia LED-urilor și creșterea monocristalelor fotovoltaice.

Aplicare:

Barca SiC de înaltă puritate este un consumabil cheie în procesele de semiconductori, utilizat în principal pentru transportul și transferul de napolitane în medii cu temperaturi ridicate și este utilizată pe scară largă în procesele de difuzie, oxidare, recoacere și CVD pentru napolitane de siliciu. Este potrivită în special pentru procesele la temperaturi ridicate ale semiconductorilor de a treia generație (cum ar fi SiC/GaN) și dispozitivelor de alimentare.

Servicii care pot fi furnizate:

Analiza scenariilor de aplicare a clientului, potrivirea materialelor, rezolvarea problemelor tehnice.

Profilul Companiei:

Semixlab are 2 laboratoare, o echipă de experți cu 20 de ani de experiență în materiale, cu capacități de cercetare și dezvoltare și producție, testare și verificare.

Parametri tehnici

Domenii principale de aplicare

Aviz de verificare a lanțului ecologic

Verificarea lanțului ecologic al Semixlab High-Purity SiC Boat acoperă materiile prime până la producție, a trecut certificarea standardelor internaționale și are o serie de tehnologii brevetate pentru a asigura fiabilitatea și sustenabilitatea sa în domeniile semiconductorilor și energiei noi.

Procesul tipic de aplicare

Prepararea materiei prime (pulbere de SiC de înaltă puritate) → Proces de formare (presare uscată/presare izostatică) → Proces de sinterizare → Prelucrare și finisare a suprafețelor (rectificare/lustruire CNC, gravare chimică, recoacere) → Purificare și acoperire CVD → Controlul calității → Ambalare

Prin optimizarea de ultimă generație a parametrilor de proces, designul structural unic al Semixlab High-Purity SiC Boat asigură o stabilitate excelentă a napolitanelor, reducând în același timp semnificativ riscul de contaminare cu particule. Durata sa de viață poate ajunge la 5-8 ori mai mare decât cea a napolitanelor tradiționale cu cuarț, ceea ce o face o soluție ideală pentru procesarea napolitanelor la temperaturi înalte. Această inovație îi permite să înlocuiască treptat importurile pe piața semiconductorilor, oferind o soluție internă de înaltă performanță și rentabilă.

Pentru specificații tehnice detaliate, documente informative sau aranjamente pentru testarea eșantionului, vă rugăm să contactați echipa noastră de asistență tehnică pentru a explora modul în care Semixlab vă poate îmbunătăți eficiența procesului.

Avantajele miezului de SiC de înaltă puritate al Semixlab pentru barcă

1. Puritate extremă (avantaj cheie)

Barca SiC de înaltă puritate Semixlab are o puritate ultra-înaltă (≥99.9999%), iar conținutul de impurități (Fe, Al, Na etc.) este controlat la un nivel de 1 ppm pentru a evita contaminarea napolitanelor sau a materialelor epitaxiale, ceea ce este potrivit în special pentru fabricarea semiconductorilor SiC/GaN.

2. Inerție chimică (rezistență la coroziune)

Rezistent la eroziunea acidă, alcalină/plasmă și poate rezista la gaze corozive precum HF, HCl, H2 (cum ar fi procesele de gravare a semiconductorilor). Nu eliberează gaze la temperaturi ridicate.

3. Rezistență mecanică și durată de viață

Duritate ultra-ridicată, rezistență excelentă la uzură, reduce riscul de desprindere a particulelor și prelungește durata de viață (de obicei de 3 până la 5 ori mai mare decât cea a unei plăcuțe de cuarț). Nu se deformează ușor la temperaturi ridicate, menținând planeitatea plachetei (cum ar fi deformarea într-un cuptor de difuzie <0.1 mm).

4. Compatibilitatea procesului

Adaptabil la o varietate de medii dure, atmosfere de oxidare/reducere (cum ar fi O2, H2, Ar) și procese de acoperire CVD/PVD. Suprafața poate fi personalizată, cum ar fi lustruirea (Ra<0.1μm) sau acoperirea (cum ar fi SiO2) pentru a reduce și mai mult contaminarea.