EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Încălzitor din grafit acoperit cu SiC pentru MOCVD
Încălzitorul MOCVD din grafit acoperit cu SiC Semixlab este un purtător încălzit de înaltă performanță conceput pentru procesele de fabricație a semiconductoarelor care utilizează depunerea chimică în vapori (CVD) pentru a forma o acoperire uniformă și densă de carbură de siliciu (SiC) pe suprafața unui substrat de grafit de puritate ultra-înaltă.
Descriere
produse Detalii
Încălzitorul MOCVD cu grafit acoperit cu SiC combină conductivitatea termică excelentă a grafitului cu rezistența la temperatură ridicată și la coroziune a straturilor de SiC și este utilizat pe scară largă în echipamentele de depunere în vapori chimici metalo-organici (MOCVD) pentru a asigura stabilitate și puritate ridicată în procesele de creștere a epitaxiei plachetelor.
Caracteristicile produsului încălzitor MOCVD cu grafit acoperit cu SiC
1. Puritate ultra-înaltă și stabilitate chimică
Puritate ≥99.99995%: Încălzitorul nostru din grafit este pregătit sub clorinare la temperatură înaltă prin procesul CVD, care evită în mod eficient contaminarea cu impurități metalice și satisface cererea pentru medii ultra-curate în fabricarea semiconductoarelor.
Anti-coroziune chimică: duritatea densă și ridicată a acoperirii SiC (duritate Vickers de 2500-2800) poate rezista la eroziunea acizilor, alcalinelor, sărurilor și solvenților organici, ceea ce prelungește durata de viață a echipamentului în mediul cu gaz corosiv.
2. Rezistență excelentă la temperaturi ridicate
Stabilitate la temperaturi ridicate: poate rezista până la 3000 ° C în atmosferă inertă, funcționare stabilă până la 2200 ° C în mediu vid și 1600-1700 ° C în mediu oxidant, care este potrivit pentru condițiile extreme ale camerei de reacție MOCVD.
Coeficient scăzut de expansiune termică (4.5 x 10-⁶K-¹): Această caracteristică a încălzitorului din grafit MOCVD reduce eficient crăparea sau exfolierea stratului de acoperire din cauza schimbărilor de temperatură, asigurând integritatea structurală în timpul ciclurilor termice pe termen lung.
3. Performanță optimizată de management termic
Conductivitate termică ridicată (200-300 W/mK): Conductivitatea termică ridicată a încălzitorului MOCVD din grafit determină că produsul poate transfera căldură rapid și uniform pentru a obține o distribuție constantă a temperaturii suprafeței plachetei (± 1°C), îmbunătățind astfel eficient uniformitatea stratului epitaxial.
Proiectarea câmpului cu flux de gaz laminar: După iterarea și modernizarea continuă a tehnologiei, netezimea suprafeței încălzitorului MOCVD (Ra ≤ 0.8μm) și optimizarea geometriei asigură distribuția uniformă a gazelor reactive și reduce neuniformitatea depunerilor cauzate de turbulențe.
Specificații
Comparația parametrilor tehnici și avantajele
| caracteristici | Încălzitoare acoperite cu SiC Semixlab | Încălzitoare convenționale din grafit |
| Temperatura maxima de functionare (inerta) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Puritate chimică | ≥ 99.99995% | ≤ 99.99 |
| Conductivitate termică | 300 W / mK | 120-150 W/mK |
| Aderența acoperirii | 415 MPa (îndoire în 4 puncte) | 100-200 MPa |
| Viața tipică (cicluri) | > 500 de cicluri | Cicluri 100-200 |
Avantaj competitiv
De ce Semixlab?
Personalizare: Semixlab se angajează să furnizeze produse personalizate și servicii tehnice clienților noștri. Acceptăm personalizarea dimensiunilor nestandard (până la 360 mm diametru) și a grosimilor de acoperire (20-500μm) pentru a se potrivi unei game largi de nevoi de echipamente.
Certificare globală: Încălzitorul nostru din grafit acoperit cu SiC este compatibil cu SEMI, certificat ISO 9001, iar produsele noastre sunt exportate în principal în Europa și Statele Unite, precum și în Japonia și Coreea de Sud, cu un avantaj semnificativ preț/performanță.
Sinergie tehnică: Semixlab a menținut de multă vreme o strânsă cooperare cu instituții de cercetare de top din China, folosind tehnologii de acoperire brevetate (cum ar fi procesul SiC³ de la CGT Carbon) pentru a optimiza densitățile de acoperire și rezistența la șocuri termice.
