Ceramica SiC

Ceramica SiC este utilizată din ce în ce mai mult în echipamentele semiconductoare, în principal pentru că rezistă mai bine în condiții mai dificile. Când temperatura crește sau procesul devine mai agresiv, materiale precum cuarțul sau siliciul pot începe să își arate limitele, iar aici intervine de obicei SiC. În procesele din cuptor, cum ar fi oxidarea sau difuzia, piese precum plăcuțele pentru napolitane sau paletele fabricate din SiC tind să reziste mai mult. Își păstrează forma și nu aduc multă contaminare, chiar și după perioade lungi de timp. Oamenii trec adesea de la cuarț din acest motiv, mai ales când întreținerea devine prea frecventă.

Pentru gravare, SiC este adesea ales pur și simplu pentru că supraviețuiește plasmei mai mult timp. Diferența de durată de viață în comparație cu piesele din siliciu este vizibilă în multe configurații, deși depinde în continuare de procesul exact. De asemenea, ajută puțin la controlul particulelor, care devine mai sensibil pe măsură ce nodurile se micșorează. Veți vedea, de asemenea, SiC utilizat ca susceptori în MOCVD sau CVD. În aceste cazuri, este mai puțin vorba de „rezistență” și mai mult de menținerea stabilității comportamentului la temperatură. În afară de acestea, apare în componentele camerei, cum ar fi căptușelile sau capetele de duș și uneori și în manipularea componentelor.